高純氮?dú)獾闹饕猛?/h2>
發(fā)布時(shí)間:2021-11-01來源:洛陽華普高純氣體點(diǎn)擊:2681
高純氮?dú)獾闹饕猛?/p>
在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮?dú)庠谕庋?、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
消防應(yīng)急措施與防護(hù),迅速撤離泄漏污染區(qū)人員為上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限 制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物,盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚,遇點(diǎn)火源著火爆炸,用排風(fēng)機(jī)將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理,修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。用霧狀水保持火場(chǎng)中容器冷卻??捎渺F狀水噴淋加速液氮蒸發(fā),但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮?dú)?,感到呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進(jìn)行人工呼吸,就醫(yī)。
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